這些部件組成的真空泵可實現氣體的連續吸入

發布時間： 2025-10-20　　點擊次數： 176次

　　真空泵作為現代工業中真空獲得設備，廣泛應用于半導體制造、光伏產業、醫藥化工、真空干燥與鍍膜等領域，憑借其無油運行、低振動、高效率與耐腐蝕特性。真空泵通過一對精密配合的螺旋轉子在泵腔內同步旋轉，實現氣體的連續吸入、壓縮與排出，構建清潔、穩定的真空環境。

　　1、螺桿轉子

　　由一對經高精度磨削加工的陰、陽螺桿轉子構成，型線優化設計，確保嚙合間隙極小（通常5–20μm），實現高效密封與低泄漏。轉子表面常進行特殊涂層處理（如鎳磷合金、特氟龍），增強耐磨性與耐腐蝕能力，適用于含水汽、溶劑或弱腐蝕性氣體的工況。

　　2、泵體腔室

　　采用高強度鑄鐵或不銹鋼制造，內壁精密加工，確保與轉子間的配合精度。腔體設計優化氣流路徑，減少渦流與阻力，提升抽氣效率。部分型號采用夾套結構，可通入冷卻液，控制泵體溫升，保障長期穩定運行。

　　3、同步齒輪

　　位于軸承外側，通過高精度斜齒輪傳動，確保兩轉子以恒定速比（通常1:1）反向同步旋轉。齒輪獨立于泵腔，由潤滑油潤滑，避免潤滑油進入真空腔，實現真正“干式”運行。精密加工與合理間隙設計，降低噪音與振動。

　　4、軸承系統

　　采用高精度角接觸球軸承或圓柱滾子軸承，承受徑向與軸向載荷。軸承位于泵腔外側，由專用潤滑脂或油路系統潤滑，防止污染物侵入。部分泵配備軸承溫度傳感器，實現過熱保護。

　　5、軸封裝置

　　采用機械密封或迷宮密封結構，安裝在轉子伸出端，防止外部空氣滲入真空腔或潤滑油泄漏。機械密封多為雙端面設計，可通入密封氣（如氮氣）進一步提升密封性能，適用于高純度或危險氣體環境。

　　6、進氣口與排氣口

　　進氣口連接真空系統，通常配備內置或外置過濾器，防止顆粒物進入泵腔。排氣口連接大氣或前級泵，部分型號集成排氣單向閥，防止停機時空氣倒流。接口形式多樣（法蘭、螺紋），便于系統集成。

　　7、冷卻系統

　　通過風冷（散熱片+風扇）或水冷（冷卻夾套）方式，帶走壓縮熱與機械摩擦熱。水冷型適用于高負荷連續運行，控溫更精準；風冷型結構簡單，維護方便。